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製品ラインアップ

プラズマモニタリング

高分解能分光計の搭載したモジュール式分光計は、各種のガスがプラズマチャンバーに導入された時のプラズマ放出の変化を監視される。
測定は密閉された反応チャンバー内で実行され、分光計、光ファイバー(+測定システムに合わせた光学製品の供給及び製造が可能)と組み合わされ、チャンバー外の小さなビューポート又はチャンバー内の真空フィードスルーを通して測定及び監視されます。
これらの測定は、プラズマチャンバー内でリアルタイムにプラズマ発光スペクトルを取得する為のモジュール式分光コンポーネントの能力を示しました。
発光スペクトルで確定されたプラズマ特性は、プラズマベースのプロセスの監視及び制御への使用が可能。
 

• 高分解能分光器を使用するプラズマからの光学発光の監視。

• プラズマスペクトルには、各特性毎に発光ピークがあり、それぞれがプラズマ内の原子の変化を検出できる為、1つの層から別の層に移行するエッチングを監視できます。

• チャンバー内のリアルタイム監視は、処理環境の全体像及び潜在的な問題の積極的な発見の為の有用な情報を提供。

• プラズマはOESの原理で監視でき、ユーザーはリアルタイムで目的のエンドポイントを監視して、エッチングの停止タイミングを確定できる。

• プラズマプロセスモニタリング

- プラズマプロセスの変化や事故を検出。
- 変化のない安定性 。

 

繰り返しリアルタイム測定

広域スペクトルでのプラズマ発光の繰り返しリアルタイム測定により、プラズマプロセスの全体的で且つ迅速な理解が可能。

高分解能、高速、高感度分光計

高分解能分光法を使用して、正確で信頼性の高い測定結果と幅広いスペクトルレンジを迅速に取得できる。

カスタム化光学製品

カスタム化によりシステムに最適化された機器設定を行い、安定したシステムを構築が可能。

ソフトウェア

プラズマ分析から測定データのデータベースの構築まで、プラズマプロセスの制御と監視の為のカスタム化されたソフトウェア。