詳細

• エッチング、堆積、 オプティカルエンドポイント検出等の半導体プロセスへの適用が可能。
• 半導体プロセスのリアルタイムで監視及び制御する為の発光分光計として使用可能。

特徴

• リアルタイム測定。
• エンドポイント検出等の柔軟な設定。
• プロセス環境で安定したパフォーマンスを実現する高い安定性。
• 輝線の波長はプラズマに存在する元素を識別し、輝線の強度はプロセス制御の為に粒子と電子密度をリアルタイムで定量化する。