Details

TS 시리즈는 다양하게 사양 구성이 가능한 박막 측정 시스템입니다. 이는 분광 반사율을 측정하여 광학 또는 비광학 박막 두께를 정확하게 측정한 결과입니다. 이 시리즈는 다양한 반도체, 의료 및 산업 분야에 적합합니다.
TS 시리즈의 시스템은 강철, 알루미늄, 황동, 구리, 세라믹, 플라스틱과 같은 기판의 반사 방지 코팅, 스크래치 방지 코팅 및 거친 층을 측정합니다. TS 시리즈의 박막반사계 시스템은 1nm 에서 250μm 까지 광학층의 두께를 분석할 수 있습니다. 0.1nm 해상도로 단일 두께를 관찰할 수 있으며, 1초 미만으로 단일 레이어 또는 다층 필름을 분석할 수 있습니다 .

Features

• 신뢰성 해상도는 최대 0.1nm
• 강력한 분석 능력 단일 또는 다층 필름
• 휴대용 현장 측정. 온라인 두께 측정에 적합
• 결함 및 거칠기 공차를 측정하기 위한 정교한 알고리즘