Quang phổ kế dạng modul dựa trên quang phổ kế độ phân giải cao, được sử dụng để giám sát sự thay đổi ánh sáng phát ra khi những loại khí khác nhau được cho vào bên trong buồng plasma.


Quá trình đo được tiến hành trong buồng phản ứng kín, kết hợp với một máy quang phổ, cáp quang (+ có khả năng cung cấp và sản xuất các sản phẩm quang học dùng cho hệ thống đo) được đo và giám sát thông qua một cổng quan sát nhỏ bên ngoài buồng hoặc lỗ hút chân không ở bên trong buồng.
Những kết quả đo đã chứng minh năng lực của linh kiện quang phổ dạng modul đối với việc thu thập quang phổ phát xạ plasma thời gian thực ở bên trong buồng plasma.
Đặc tính plasma xác định trong phổ phát xạ có thể được sử dụng để giám sát và điều khiển các quá trình plasma.

• Giám sát phát xạ quang học bằng máy quang phổ có độ phân giải cao.

• Quang phổ plasma có một đỉnh phát xạ tương ứng với mỗi đặc tính, giúp phát hiện sự thay đổi các nguyên tử trong plasma đế giám sát sự chuyển đổi quang khắc từ lớp này sang lớp khác.

• Giám sát thời gian thực bên trong buồng cung cấp thông tin hữu ích cho việc quan sát tổng thể môi trường xử lý và chủ động xác định các vấn đề tiềm ẩn.

• Có thể giám sát plasma bằng cách sử dụng nguyên lý OES, và người sử dụng có thể giám sát điểm cuối mong muốn trong thời gian thực để xác định khi nào dừng quá trình quang khắc.

• Giám sát công đoạn plasma

- Phát hiện sự thay đổi và sự cố trong công đoạn plasma
- Ổn định không thay đổi

Đo lặp lại trong thời gian thực

Đo lặp lại trong thời gian thực của phát xạ plasma với dải phổ rộng cho phép nhanh chóng biết được tổng quan về quá trình plasma.

Quang phổ kế có độ phân giải, tốc độ và độ nhạy cao

Thu được kết quả đo nhanh chóng và chính xác, dải phổ rộng nhờ vào máy quang phổ có độ phân giải cao.

Sản phẩm quang học tùy chỉnh

Tạo ra một hệ thống ổn định bằng cách cấu hình thiết bị tối ưu cho hệ thống thông qua tùy chỉnh.

Phần mềm

Phần mềm tùy chỉnh điều khiển và giám sát công đoạn plasma, từ phân tích plasma cho đến tạo cơ sở dữ liệu đo.