Chi tiết

• ứng dụng trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn như quang khắc, lắng đọng, phát hiện điểm cuối quang học.
• Có thể cung cấp máy quang phổ phát xạ để giám sát và điều khiển các quy trình bán dẫn trong thời gian thực.

Đặc điểm

• Đo trong thời gian thực.
• Thiết lập linh hoạt để phát hiện điểm cuối, v.v...
• Độ ổn định cao để hoạt động ổn định trong môi trường xử lý.
• Bước sóng của ánh sáng phát ra sẽ phát hiện các thành phần có trong plasma, cường độ vạch phát xạ được sử dụng để định lượng mật độ các phần tử và điện tử trong thời gian thực để kiểm soát quy trình sản xuất.